很輕的元素不能用XRF測量的主要原因是這些元素產(chǎn)生的x射線太弱，無法到達(dá)探測器。x射線在空氣中傳播的能力取決于它的能量，對于小于2kev的x射線，大多數(shù)在到達(dá)探測器之前就被吸收了。

我們可用于便攜式XRF的最佳分辨率探測器是SDD，其分辨率約為145-160eV。這種分辨率適用于測量大多數(shù)元素，但在2keV以下，不同元素線之間的間距會減小到小于此分辨率。

X射線線來自原子內(nèi)部的電子躍遷。較重的原子（較重的原子質(zhì)量）有較多的電子，而較輕的原子有較少的電子。對于最輕的元素，原子中沒有足夠的電子進(jìn)行足夠的躍遷來測量。例如，氫只有一個電子。