LIBS的工作方式是使用脈沖聚焦激光器，該激光器以足夠的脈沖能量向樣品發(fā)射，從而在被擊中的區(qū)域周圍產(chǎn)生等離子體。束縛原子電子從構(gòu)成材料的原子中剝離。當(dāng)?shù)入x子體冷卻時(shí)，原子與電子重新結(jié)合，并在紫外光、光學(xué)和紅外波段發(fā)出光。
       LIBS作為實(shí)驗(yàn)室技術(shù)已經(jīng)使用了30多年，能夠分析周期表中的任何元素。最近，這項(xiàng)技術(shù)已被小型化為一種手持設(shè)備(HH LIBS)，能夠分析任何元素，這取決于為該設(shè)備選擇的光譜儀范圍。
      1. 一種脈沖激光，通常在5-6MJ/脈沖能量范圍內(nèi)，以每秒50次(50 Hz)的速度向樣品發(fā)射。激光通過聚焦透鏡，將激光束聚焦到大約50μm的直徑。脈沖寬度為1-2 ns(十億分之一秒)，從而產(chǎn)生足夠高的功率密度(能量/面積/時(shí)間)，使產(chǎn)生等離子體的物質(zhì)蒸發(fā)。
      2. 當(dāng)?shù)入x子體冷卻幾百微秒時(shí)，從原子中剝離出來的電子與原子重新結(jié)合，在紫外、光學(xué)和紅外光譜中發(fā)射光。
      3. 機(jī)載光譜儀通過測(cè)量特定波長(zhǎng)下的光波長(zhǎng)和強(qiáng)度(量)來分析發(fā)射光--光譜。
      4. 機(jī)載軟件將光譜線與已知波長(zhǎng)進(jìn)行比較，以確定存在哪些元素，并利用這些譜線的強(qiáng)度進(jìn)行星上校準(zhǔn)，以量化元素的濃度。