手持ROHS分析儀的歷史可以追溯到1895年，當(dāng)時(shí)德國(guó)物理學(xué)家威廉·康拉德·隆根在當(dāng)年11月發(fā)現(xiàn)并鑒定了X射線(xiàn)。X射線(xiàn)在許多國(guó)家也被稱(chēng)為倫琴射線(xiàn)。

　　隨后在1909年，英國(guó)通過(guò)物理教育學(xué)家研究查爾斯·格洛弗·巴克拉發(fā)現(xiàn)了從樣本中輻射發(fā)展出來(lái)的X射線(xiàn)與樣品原子量之間的聯(lián)系；四年學(xué)習(xí)之后，也即在1913年，同樣的來(lái)自一個(gè)英國(guó)的物理學(xué)家名為亨利·莫斯萊發(fā)現(xiàn)了一系列重要元素的標(biāo)識(shí)譜線(xiàn)（特征譜線(xiàn)）與該元素的原子序數(shù)之間存在具有一定的關(guān)系。這些發(fā)現(xiàn)為后來(lái)基于原子數(shù)而不是原子量精煉周期表的努力奠定了基礎(chǔ)，也為第一個(gè)手持ROHS分析儀(XRF)的建立奠定了堅(jiān)實(shí)的理論基礎(chǔ)。然而，直到1948年，Herbert Friedman和Laverne Stanfield Birks才建立起一個(gè)世界上中國(guó)第一臺(tái)手持ROHS分析儀，這為后續(xù)利用光譜儀的商業(yè)化的使用開(kāi)辟了道路。

　　通常，由照射物質(zhì)的X射線(xiàn)產(chǎn)生的二次X射線(xiàn)稱(chēng)為X射線(xiàn)熒光，用于照射的X射線(xiàn)稱(chēng)為一次X射線(xiàn)，因此手持ROHS分析儀仍然屬于X射線(xiàn)類(lèi)別。一臺(tái)具有典型的手持ROHS分析儀主要由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測(cè)技術(shù)系統(tǒng)可以構(gòu)成。X射線(xiàn)管負(fù)責(zé)產(chǎn)生入射X射線(xiàn)(一個(gè)單一的X射線(xiàn))，然后激發(fā)樣品。受激樣品中的每個(gè)元素在被激發(fā)后都會(huì)發(fā)射一個(gè)次級(jí)X射線(xiàn)，但樣品中元素的類(lèi)型以及它從外部X射線(xiàn)吸收的能量大小可以影響它從次級(jí)X射線(xiàn)中發(fā)射出的能量(類(lèi)似于可見(jiàn)光的顏色)，不同類(lèi)型的元素發(fā)射出不同的能量或顏色，所以不同元素發(fā)射出的次級(jí)X射線(xiàn)具有特定的能量屬性或波長(zhǎng)屬性。