手持ROHS分析儀的歷史可以追溯到1895年，當(dāng)時德國物理學(xué)家威廉·康拉德·隆根在當(dāng)年11月發(fā)現(xiàn)并鑒定了X射線。X射線在許多國家也被稱為倫琴射線。

　　隨后在1909年，英國通過物理教育學(xué)家研究查爾斯·格洛弗·巴克拉發(fā)現(xiàn)了從樣本中輻射發(fā)展出來的X射線與樣品原子量之間的聯(lián)系；四年學(xué)習(xí)之后，也即在1913年，同樣的來自一個英國的物理學(xué)家名為亨利·莫斯萊發(fā)現(xiàn)了一系列重要元素的標(biāo)識譜線（特征譜線）與該元素的原子序數(shù)之間存在具有一定的關(guān)系。這些發(fā)現(xiàn)為后來基于原子數(shù)而不是原子量精煉周期表的努力奠定了基礎(chǔ)，也為第一個手持ROHS分析儀(XRF)的建立奠定了堅實的理論基礎(chǔ)。然而，直到1948年，Herbert Friedman和Laverne Stanfield Birks才建立起一個世界上中國第一臺手持ROHS分析儀，這為后續(xù)利用光譜儀的商業(yè)化的使用開辟了道路。

　　通常，由照射物質(zhì)的X射線產(chǎn)生的二次X射線稱為X射線熒光，用于照射的X射線稱為一次X射線，因此手持ROHS分析儀仍然屬于X射線類別。一臺具有典型的手持ROHS分析儀主要由激發(fā)源（X射線管）和探測技術(shù)系統(tǒng)可以構(gòu)成。X射線管負責(zé)產(chǎn)生入射X射線(一個單一的X射線)，然后激發(fā)樣品。受激樣品中的每個元素在被激發(fā)后都會發(fā)射一個次級X射線，但樣品中元素的類型以及它從外部X射線吸收的能量大小可以影響它從次級X射線中發(fā)射出的能量(類似于可見光的顏色)，不同類型的元素發(fā)射出不同的能量或顏色，所以不同元素發(fā)射出的次級X射線具有特定的能量屬性或波長屬性。